什么是流量计

时间：2026-03-04 09:14:21 发布人：泵阀

在半导体制造这座纳米级的“微观工厂”里，有两种看不见的血液在精密流动。
一种是液体——显影液、蚀刻液、清洗液、抛光液、光刻胶，它们以每分钟几毫升甚至零点零几毫升的涓流，在晶圆表面完成涂布、刻蚀、清洁的化学魔法。

另一种是气体——氮气、氩气、氢气、硅烷、氯气，它们或作为工艺反应的参与者，在CVD腔室内沉积薄膜；或作为洁净动力源，吹扫晶圆表面微尘；或作为载气，将汽化的液态源精准输送到反应现场。
它们是两种截然不同的介质，却共享同一个使命：在极度严苛的制程边界下，实现流量计量的极致精准。液体流量计与气体流量计，这对半导体流体控制系统的“双生感知核心”，原理迥异、专精各擅。它们一个要应对黏稠的光刻胶、腐蚀性的氢氟酸、电阻率18.2MΩ·cm的超纯水；另一个要驯服活泼的氢气、重质的硅烷、微秒级响应的动态气流。

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